nitruro di silicio SiNx (coating AR)

Ruoli per filiera

• cella solare Si PERC (wafer Czochralski) — 🟨 sottoprodotto

Prodotta da

• cella solare Si PERC (wafer Czochralski) — diffusione POCl3 + coating PECVD SiNx

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PREFIX chem: <https://ontology.siletto.it/chem-pipeline#>
SELECT ?pipeline ?role WHERE {
  chem:siliconNitride chem:playsRole ?ra .
  ?ra chem:inPipeline ?pipeline ; chem:role ?role .
}

Dereferenziabile: chem:siliconNitride · ontologia completa